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羅茨真空泵

產(chǎn)品集先進(jìn)性、可靠性、實用性、經(jīng)濟(jì)性于一體

羅茨真空泵

? ? ? ?主要應(yīng)用在真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空干燥、真空浸漬、真空濾油、多晶硅生產(chǎn)等領(lǐng)域。



主要性能參數(shù)

型號

抽氣速率

(L/s)

極限分壓

(Pa)

極限全壓

(Pa)

長期運行最大壓差

(Pa)

電機(jī)功率

(kW)

進(jìn)氣口徑

(mm)

排氣口徑

(mm)

冷卻方式
50Hz 60Hz
ZJ-DV1 型羅茨真空泵系列(上進(jìn)氣、下排氣)
ZJ-70DV1 70 84 0.03 0.5 8000 1.1 80 80 風(fēng)冷
ZJ-150DV1 150 180 8000 2.2 100 100
ZJ-220DV1 220 264 8000 3 100 100
ZJ-300DV1 300 360 5000 4 160 160
ZJ-600DV1 600 720 5000 7.5 200 200
ZJ-1000DV1 1000 1200 3000 11 200 200
ZJ-1200DV1 1200 1440 3000 11 250 250
ZJ-2000DV1 2000 2400 3000 15 250 250 風(fēng)冷/水冷
ZJ-2800DV1 2800 3360 3000 22 320 320
ZJ-4000DV1 4000 ? 2500 30 320 320 水冷
ZJ-5500DV1 5500 ? 2500 37 400 320
ZJ-DV2 型羅茨真空泵系列(側(cè)進(jìn)氣、側(cè)排氣)
ZJ-600DV2 600 720 0.03 0.5 5000 7.5 200 200 風(fēng)冷
ZJ-1200DV2 1200 1440 3000 11 250 250
ZJ-2000DV2 2000 2400 3000 15 250 250 風(fēng)冷/水冷
ZJ-2800DV2 2800 3360 3000 22 320 320
ZJ-4000DV2 4000 ? 2500 30 320 320 水冷
ZJ-5500DV2 5500 ? 2500 37 400 400
ZJP-DV1型羅茨真空泵系列(上進(jìn)氣、下排氣+側(cè)排氣,帶溢流旁通閥)
ZJP-600DV1 600 720 0.03 0.5 5000 7.5 200 200/100 風(fēng)冷
ZJP-1200DV1 1200 1440 3000 11 250 250/125
ZJP-2500DV1 2500 3000 3000 22 320 250/200 風(fēng)冷/水冷
備注;上表中的極限分壓、極限全壓是指羅茨真空泵配雙級滑閥真空泵時測得的真空度。


抽速與進(jìn)氣壓力曲線



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